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電子束蒸鍍

簡要描述:電子束蒸鍍?yōu)橐环N物理氣相沉積(PVD)技術,其中電子束是由鎢絲所產生的,並受到電場和磁場的驅動而朝向蒸發(fā)材料,並將其材料由固態(tài)轉化為氣態(tài)以沉積在基板表面上。且該過程需在高真空環(huán)境中,以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。

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  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-07-10
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品牌其他品牌應用領域環(huán)保,化工,電子/電池

電子束蒸鍍系統(tǒng)為一種物理氣相沉積(PVD)技術,其中電子束是由鎢絲所產生的,並受到電場和磁場的驅動而朝向蒸發(fā)材料,並將其材料由固態(tài)轉化為氣態(tài)以沉積在基板表面上。且該過程需在高真空環(huán)境中,以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。

電子束蒸鍍比熱蒸發(fā)更具有優(yōu)勢。它能夠在非常高的溫度下熔化材料,如鎢、石墨...等等。結合石英震盪片的反饋信號,可輕鬆控制蒸發(fā)速率,以調節(jié)電子束電流並蒸發(fā)更多材料而不會破壞真空。因此,電子束蒸發(fā)用於薄膜製程領域,包括半導體、光學、太陽能電池板、玻璃和建築玻璃,因此它們具有所需的導電,反射,透射和電子等特性。

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